高纯电子特气管道系统的含义

半导体,集成电路,生物制约行业输送超纯介质(气体)的高纯气体管路是一种综合考虑组织稳定性,耐蚀性,加工性的不锈钢管。要确保系统中立,我们要强调表面粗糙度Ra 值和自身的洁净,使颗粒发生和堆积滞留得到抑止。为了确保可熔接性及熔接质量,要求保证尺寸公差,母材的化学成分。这样才能确保在熔接时降低烟气的发生,颗粒的产生及提高熔接部位的耐蚀性和平滑性。

总而言之, 高纯管路既要有漂亮的外表 (外在的纯净), 又要有货真价实的材质 (内在的纯净)。 

    1、外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯气体管道不仅有锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及确保吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求。为了确保自动轨道焊的质量和效率,尺寸公差当然也是基本的要求。

2、内在的纯净指纯净的材质:气体管道仅有漂亮的内外表面是远远不够的,对管道系统的材质也有非常苛刻严格的要求,无论对化学成分和机械性能都有一定的定义。所以我们提到的纯净管道是由纯净的316L制成,指不锈钢中的不纯物尽量降到一定范围内,非金属夹杂物以及气体成分控制在低端，而高纯洁净管的级别可分为BA和EP级，高纯电子特气管道系统用的一般是316LEP级的不锈钢管，就是电解抛光不锈钢管。

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