高纯气体管道中所有高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。

对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体反应、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。

气体作用性
不同材料对氧的反应性材料大气中氧气的反应(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管 1l聚四乙烯管 12普通钢管 203 从表看到，对于输送ppm级及更高纯要求的气体，从气体洁净度须选用316LBA不锈钢管或者316LEP不锈钢钢管，如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料，那么，无论我们采取什么净化手段，都将是无济于事的。


出气速率
材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率较低。


吸附性
由于水分等杂质易吸附。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料易吸附水分等杂质，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四乙烯)。

表面粗糙度和耐磨性
为了确保输送的气体纯净度，要求管道材料内表面有一个高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。


抗腐蚀性
微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时须采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生危险事故。


以上就是阳泰祥为大家介绍的有关高纯气体管道安装对配管和材质有什么要求的分析，希望可以给大家提供参考。

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